电子探针测试标准是什么 x射线光电能谱仪校准规范？
x射线光电能谱仪校准规范？
语句文件
《GB/T 17359—2012 能谱法定量分析》、《GB/T 20726半导体探测器X射线能谱仪通则》、《GB/T 21636—2008 微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语》、《GB/T 25189—2010微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法》、《JJF 1001通用计量术语及定义》等等。
X射线能谱仪是一种比较普遍的作用于结论试板化学排成和对该排成进行定量分析的仪器，象与扫描电子显微镜(西安北方光电有限公司SEM)的或电子探针(全称EPMA)成组合可以使用，其中SEM/EDS组合Z越来越广泛。其工作原理万分感谢：SEM也可以EPMA发射出本身是有能量的聚焦电子束轰中试样表面，会再产生或者被放出元素的特征X射线。这些射线被X-射线探测器检测，在信号转换、放大缩小等一系列处理和分析后，可以不我得到试样中所含各元素的特征X射线强度值。按照与你所选元素标准样品的X射线能谱的对比直接测定和抵消可以计算如何处理，这个可以获得被测试样化学组成的定量分析结果。X射线能谱仪的结构。
X射线能谱仪按窗口尺寸可分为正常吗窗口、超薄窗口和无窗，按空调制冷模式可可分液氮制冷和电制冷，按晶体材料可分成三类锂甩尾硅Si(Li)和硅甩尾漂移探测器(SDD)，最后一代X射线能谱仪均为电压缩机超薄窗口/无窗SDD能谱仪。
校准数据项目和校准方法
校准过程前，需切实保障仪器进入正常的工作状态及没有影响校准值计量性能的因素。所得用标准样板应必须保证表面无污，避免划痕、被腐蚀和氧化。X射线能谱仪应预热30分钟以上，至使工作稳定。
放入后标准物质，抽气使样品室真空度提升工作状态，将电子束亮度对比度即合轴调回状态。用EPMA的能谱仪，将标准物质表面定位在光学显微镜的焦面上，而且与仪器电子束成明文规定的角度(通常为90°)。在SEM中，标准物质放进EDS厂家选择类型或是变量的工作距离，样品台下沉可以设置为0°。根据情况图像至使比较清晰且无像散。在校准过程中，参照所测元素调整全速电压，可以保证过压比大概要1.8电子束流保持稳定，死时间大于35%，谱的总计数约为250000。
能量分辨率
X射线能谱仪的能量分辨率测量Mn-Kα谱峰半高宽来表示。以金属锰单质或金属锰偏于元素的标准物质才是测量标准器，在仪器利用预热稳定后，设定好速度电压为15kV，采集样品的X射线能谱。凭借能谱仪能提供的计算分辨率的程序计算出Mn-Kα的谱峰半高宽，或用来谱图再测量，反复重复测量4次，取测得值的平均值作为能谱仪能量分辨率。
燃烧器离子探针怎么测好坏？
燃烧器离子探针测好坏如果没有是电子测量探针的话,这个可以仔细探针在大电流传输中有没有电流衰减的现象,在小pitch领域测试出来时有没有卡pin、断针等状况,假如连接到不很稳定并且测试良率差,就只能证明探针的质量和性能都不是很好。
版权声明：本文内容由互联网用户自发贡献，本站不承担相关法律责任.如有侵权/违法内容,本站将立刻删除。
