玻璃镀膜机(真空镀膜机的原理？)
真空镀膜机的原理？
现有的真空镀膜机主要用于一些出气少的普通玻璃上镀膜。由于大面积有机玻璃放气量大，热变形温度低，刚性低，现有的真空镀膜机无法镀制大面积有机玻璃。现有镀膜机的蒸发源呈方形分布，镀膜层的均匀性差，无法保证大面积有机玻璃在镀膜过程中不变形。为了克服现有技术的缺点，提供了一种真空镀膜系统，其集成了真空镀膜系统和真空手套箱系统。该系统可以在高真空蒸发室内完成薄膜蒸发，在具有高纯惰性气体气氛的手套箱中存储和制备样品，并对蒸发后的样品进行检测。蒸发和真空手套箱的结合实现了蒸发、封装、测试等过程的全封闭制作，使薄膜生长和器件制备的全过程高度集成到一个环境气氛可控的完整系统中，消除了有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素的影响，保证了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。真空镀膜系统的应用：主要用于太阳能电池钙钛矿、有机发光二极管和PLED、半导体制备等的实验研究和应用。
真空镀膜机的真空计怎样设置？
真空镀膜机的正确操作步骤
一、电气控制柜的操作
1.打开玻璃真空镀膜机的水泵和气源。
2.打开总电源。
3.打开维护泵和真空表的电源，将真空表置于V1位置。等到它的值小于10，然后继续下一个操作。大约需要5分钟。
4.打开机械泵，预抽，打开涡轮分子泵电源，启动，将真空计切换到V2位置，抽至2以下，大约需要20分钟。
5.观察涡轮分子泵读数达到250后，关泵，打开前机和高阀继续抽真空，抽真空到一定程度后，打开右高真空表观察真空度。真空度达到210-3后，可以接通电子枪的电源。
二。DEF-6B电子枪电源柜的操作
1.总电源
2.真空镀膜设备同时打开电子枪控制I和电子枪控制II电源：电子枪控制I电源和延时开关进行汽车玻璃镀膜，延时、电源和保护灯亮。三分钟后，延迟和保护灯熄灭。如果后门未关闭或水流继电器出现故障，保护灯将一直亮起。
3.打开高压，高压会达到10KV以上，调节后的束流可以达到200mA左右，帘栅20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1-1.7之间摆动。
三。关闭顺序
1.关闭真空表和分子泵。
2.分子泵显示50时，依次关闭阀门、前级、机械泵，大约需要40分钟。
3.当低于50时，再次关闭维护泵。
涂布机常见故障及处理方法
未检测到掩模夹具翻转信号：
1.检查翻转信号源的位置。
2.手动短路翻转输入信号，并使用翻转检测功能。当电脑能检测到信号时，证明问题出在翻盖控制开关上，会根据情况进行相应处理。如果没有检测到信号，首先检查线路，然后更换控制卡。
掩模夹具翻转不稳定性3360
1.检查襟翼的初始位置是否符合正时。
2.检查翻盖控制开关是否工作稳定，可用指针式万用表跟踪监视。
3.检查翻转机构是否灵活可靠。
4.检查转向信号时间的设置。
5.检查转盘与钟罩内壁是否有摩擦。
6.检查转盘在旋转过程中的稳定性。
同一个掩膜夹具的频散是：
1.检查晶圆本身是否有较大的色散。
2.检查胶片校正板的位置是否改变，并重新调整校正板。
3.检查挡板在打开或关闭时是否完全挡住钼舟。
4.检查炸弹是否
4.片是否跳频。
5.修正系数有错吗？
6.有没有更换监控片以防异常撤退？
测试频率小于3360
1.更换监测件。
2.检查测试弹片是否变形。
3.直接在振荡器的输入端插入一个5MHz的晶体来测量频率。如果有频率，证明是探针问题。如果没有频率，用计数器测量振荡器的输出频率是否异常。如果没有正常输出，证明振荡器有问题。如果有正常输出，但电脑不显示，证明控制卡有问题。
没有一个控制阀符合act :
1.检查5V电源是否有输出，连接是否正确。
2.检查固态继电器板上电源的公共端是否有电。
控制阀不能单独操作。
1.检查相应的固态继电器是否有输出。
未达到真空度时工作：
1.数字真空表有异常数字，30秒内无变化，如0.00-4(国产真空表常见)。
2.指针式仪表真空计打开30秒后，黑色指针仍不摆动。
监控芯片的使用原理
1.应清洁监控片的表面。
2.监控片要镀上，暴露在空气中超过12小时禁止使用。
3.禁止使用有缺陷的监控片及其表面。
4、在使用过程中要记录使用批次，严禁新旧混用。
5.监测片的重复使用寿命为3次。
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