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浏览量:2825 时间:2021-04-11 18:35:45 作者:admin

扫描电镜哪些牌子比较好?

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电子扫描显微镜(SEM)的工作原理?

扫描电子显微镜(SEM)是用聚焦电子束逐点扫描样品表面。成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。二次电子是最重要的成像信号。电子枪的能量为5~35kev,以交叉点为电子源,通过二次聚光镜和物镜的缩小,形成具有一定能量、束流强度和束斑直径的微电子束。在扫描线圈的驱动下,按一定的时间和空间顺序对样品表面进行网格扫描。二次电子发射(和其他物理信号)是由聚焦电子束和样品之间的相互作用产生的。二次电子发射量随样品表面形貌的变化而变化。二次电子信号由探测器采集并转换成电信号。经视频放大后,输入到显像管栅极中,对与入射电子束同步扫描的显像管亮度进行调制,得到反映样品表面形貌的二次电子像。

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