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腾帆科技有限公司 我国的光刻机现在发展到了什么程度?关键部件什么时候可以国产化?

浏览量:2438 时间:2021-03-26 18:51:20 作者:admin

我国的光刻机现在发展到了什么程度?关键部件什么时候可以国产化?

我国光刻胶与世界先进水平还有很大差距。

ASML不能由自身完成,而是通过国际合作完成。其中,制造光源的设备来自美国公司,镜头来自德国蔡司公司。这也是全球技术的综合效应。

2018年,中芯国际向荷兰ASML定制了一台7Nm工艺的EUV光刻机,并预付定金1.2亿美元。请注意,当时机器没有交货,但已经下了订单。

但是在国内市场上,已经有7Nm光刻胶了。2018年12月,SK海力士无锡工厂进口中国第一台7Nm光刻机。海力士也是ASML的股东。

据媒体报道,2018年11月29日,国家重大科研装备研制项目“超分辨率光刻设备研制”通过验收。光刻机由中国科学院光电技术研究所研制,分辨率为22nm。

请注意报告标题:“重大突破,国产22nm光刻机通过验收。”

即22nm光刻机,已取得重大突破。

22nm光刻机的关键部件已基本本地化。”通过中科院光电所验收的表面等离子体超分辨率光刻设备,打破了传统的路线格局,形成了纳米光学光刻新技术路线,相关报道中的“全新技术”是中国科研人员在关键部件完全国产化的条件下取得的技术突破。

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