1sccm等于多少升 sccm和slm是流量的单位，谁能说具体点吗？

sccm和slm是流量的单位，谁能说具体点吗？

SCCM是标准立方米每分钟的缩写，是指在标准状态（即1个大气压，25℃）下每分钟1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是说，SCCM是质量流量单位，不同于一般的流量单位。例如，1cc/sec是单位时间内通过的体积，而质量流量是单位时间内通过的气体摩尔数。这个单位通常用于化学反应，如CVD，为了精确控制原子组成比（理想气体公式：PV=NRT，在标准状态下，气体体积比等于摩尔比，所以只要控制气体的质量流量比，它等于反应气体的摩尔比）

流量单位中SCCM是什么？

SCCM：标准ml/min s：标准表示CC:ml M:min SLM：标准L/min s：标准条件下的标准，L:L M:min

psi是压力单位，定义为磅每平方英寸，145psi=1MPa，rsccm是质量流量单位，标准条件下的ml/min。

1sccm等于多少升 气体流量单位 sccm是什么意思

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